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氧化镓晶锭
氧化镓晶锭
6英寸氧化镓晶锭
利用导模法(EFG)生长的8mm厚半绝缘型及导电型Ga
2
O
3
单晶晶锭
关键指标
1.晶锭尺寸:直径≥150mm
2.晶面偏差:<±1°
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